فرایند PECVD

PECVD فرایند

رسوب بخار شیمیایی پیشرفته با پلاسما

راه حل های PE-CVD
رسوب بخار شیمیایی با افزایش پلاسما (PE-CVD) جایگزینی موثر برای رسوب انواع فیلمهای نازک در دماهای پایین تر از آنهایی که در راکتورهای CVD معمولی استفاده می شود ، بدون آنکه برای کیفیت فیلم کمتری تسویه شود ، فراهم می کند. یک فیلم دی اکسید سیلیسیم (SiO2) با کیفیت بالا می تواند در دمای 300 درجه سانتیگراد تا 350 درجه سانتیگراد رسوب کند ، در حالی که CVD برای تولید فیلم های با کیفیت مشابه به دما در محدوده 650 درجه سانتیگراد تا 850 درجه سانتیگراد نیاز دارد.

PE-CVD از انرژی الکتریکی برای تولید تخلیه درخشان (پلاسما) استفاده می کند که در آن انرژی به مخلوط گاز منتقل می شود. این مخلوط گاز را به رادیکال های واکنشی ، یون ها ، اتم ها و مولکول های خنثی و سایر گونه های بسیار برانگیخته تبدیل می کند. در PE-CVD ، فاز گاز و واکنشهای سطح به شدت توسط خواص پلاسما کنترل می شوند. به جای فعال سازی حرارتی ، تفکیک تأثیر الکترون مخلوط گاز واکنش های فاز گاز را هدایت می کند و رسوب را در دمای بسیار پایین تر از یک فرایند CVD معمولی انجام می دهد. برای PE-CVD ، سرعت رسوب معمولاً تابعی قوی از دمای بستر نیست زیرا انرژی فعال سازی سطح اغلب کم است. با این حال ، ویژگی های فیلم مانند ترکیب ، تنش و مورفولوژی به طور کلی عملکردهای قوی دمای بستر هستند.

مزایای CVD-PLASMA-ENHANCED

برخی از خواص مطلوب فیلم های PE-CVD چسبندگی خوب ، تراکم سوراخ سوراخ پایین ، انطباق خوب و یکنواختی در سطوح مسطح و 3 بعدی است. سودمندی و انعطاف پذیری PE-CVD در توانایی آن برای رسوب فیلم های با کیفیت بالا بر روی انواع مختلف بسترها ، از ویفرهای سیلیکونی گرفته تا اجزای خودرو است. علاوه بر این ، سیستم های رسوب فیلم نازک CVD با افزایش پلاسما هزینه مالکیت کمتری نسبت به CVD معمولی ارائه می دهند.

Denton Vacuum متخصص در CVD (PE-CVD) با افزایش پلاسما برای رسوب فیلم های نازک کربن الماس مانند (DLC) است. فیلم های DLC خانواده ای از فیلم های آمورف کربن هستند که خصوصیاتی مشابه الماس از جمله سختی ، مقاومت در برابر خراش و هدایت حرارتی بالا از خود نشان می دهند. علاوه بر این ، پوشش های فیلم نازک DLC به دلیل سازگاری زیستی ، شفافیت مادون قرمز و عملکرد عایق الکتریکی ، مورد توجه تجاری بسیاری قرار گرفته اند.

محلول Voyager PE-CVD پراکنده شدن را در دمای پایین با یکنواختی بالا ارائه می دهد. برای جزئیات کامل و صفحه داده ، به صفحه محصول Voyager در زیر کلیک کنید

دیدگاهتان را بنویسید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد.

*

code