اصول فرآیند شبیه روش نیتروژن دهی(نیتراسیون، نیتراته) پلاسمایی می باشد. در واقع اگر در روش نیتروژن دهی پلاسمایی ترکیب گاز ورودی تغییر یافته و یک گاز کربن ده، به همراه نیتروژن و هیدروژن وارد محفظة فرآیند شود، عمل نیتروکربن دهی انجام می گیرد و ترکیبات حاصل شده در سطح قطعه کار شامل کمپلکس هایی از عناصر آهن، نیتروژن و کربن می گردد که خواص مکانیکی ویژه ای ایجاد می کند. این فرآیند با اضافه کردن 3 تا 5 درصد گاز متان يا CO2) به ترکییب گازعمليات صورت می گیرد.
