آرشیو دسته بندی: دسته‌بندی نشده

پوشش دهی به روش PACVD

چكیدهروش رسوب شیمیایی بخار به كمك پلاسما (PACVD) یكی از انواع روش های CVD می باشد كه ازمحیط پلاسما جهت لایه نشانی انواع پوشش های نیتریدی استفاده می شود. این روش دارایچسبندگی خوب CVD و دمای پایین روش PVD می باشد. دمای پوشش دهی در این روش حدود500 درجه سانتیگراد است كه كمتر از دمای […]