ابعاد ۱۱۰×۹۰ cm
ولتاژ ورودی سه فاز ۳۸۰ ولت ۵۰ هرتز
حداکثر ولتاژ۸۰۰ ولت
حداکثر جریان۵۰ آمپر
سیکل کاری (Duty cycle )۸۰-۲۰ درصد
فشار کاری۸-۰.۵ میلی بار
کنترل دماخودکار
کنرل گازخودکار با استفاده از فلومتر دیجیتالی MFC
گرمایش کمکیگرم کن حلقه ای بیرونی
ماده شیمیایی مصرفیتتراکلرید تیتانیوم (TiCL4)
گاز مصرفینیتروژن هیدروژن آرگون و متان