ابعاد	۱۱۰×۹۰ cm
ولتاژ ورودی	سه فاز ۳۸۰ ولت ۵۰ هرتز
حداکثر ولتاژ	۸۰۰ ولت
حداکثر جریان	۵۰ آمپر
سیکل کاری (Duty cycle )	۸۰-۲۰ درصد
فشار کاری	۸-۰.۵ میلی بار
کنترل دما	خودکار
کنرل گاز	خودکار با استفاده از فلومتر دیجیتالی MFC
گرمایش کمکی	گرم کن حلقه ای بیرونی
ماده شیمیایی مصرفی	تتراکلرید تیتانیوم (TiCL4)
گاز مصرفی	نیتروژن هیدروژن آرگون و متان